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国林科技：臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理等工序

每日经济新闻 2023-02-21 09:36

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问公司臭氧在半导体行业的应用范围有哪些呢？谢谢。

国林科技（300786.SZ）2月21日在投资者互动平台表示，臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理等工序。

(记者 尹华禄)

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