每日经济新闻

    上海新阳：ArF光刻胶可用于90nm-14nm甚至7nm技术节点的集成电路制造工艺

    每日经济新闻 2023-02-16 16:28

    每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司验证的Arf光刻胶是用在多少制程工艺的？

    上海新阳（300236.SZ）2月16日在投资者互动平台表示，ArF光刻胶可用于90nm-14nm 甚至 7nm 技术节点的集成电路制造工艺。

    (记者 王可然)

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