每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:请董秘介绍下KrF、ArF、EUV各类芯片半导体光刻胶新产品进展。
上海新阳(300236.SZ)1月28日在投资者互动平台表示,公司KrF光刻胶已批量化生产销售,ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中,EUV光刻胶尚在开发阶段。
(记者 王可然)
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