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大族激光:公司自主研发的光刻机项目分辨率较低,仍主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用

每日经济新闻 2023-01-03 14:29

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:你好,ASML的光刻机使用了德国最优秀的激光公司通快生产的光源,我国上海微电子的光刻机光源是否选用了贵公司的产品?

大族激光(002008.SZ)1月3日在投资者互动平台表示,公司自主研发的光刻机项目分辨率较低,仍主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用,无法应用于芯片相关加工环节。

(记者 毕陆名)

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