每经讯,据启信宝,新三板创新层公司石金科技(833069)新增专利信息,专利权人为石金科技,发明人是南志华、孙海龙、李文红。专利授权日为2022年11月15日,专利名称为“一种石墨舟片及包含该石墨舟片的石墨舟”,专利类型为中国实用新型专利,专利申请号为CN202220769153.2。
该专利摘要显示:本实用新型公开了一种石墨舟片及包含该石墨舟片的石墨舟,其中石墨舟片包括舟片本体以及用于连接电极的电极连接板,所述电极连接板有两块,两块所述电极连接板分别设置在舟片本体的两侧;其中,所述舟片本体包括用于承载硅片的承载部以及用于与其它石墨舟片连接的连接部;所述承载部包括多个承载位,多个所述承载位上设有用于安装石墨卡点的卡位孔;所述连接部上设有用于容纳连接杆的连接孔,所述连接部上设有用于避开隔套的避空部,在石墨舟装配完成后,所述避空部与相反电极的石墨舟片上的连接孔位置相对应。该石墨舟片不仅能够适用于不导电的薄膜沉积,而且能够适用于导电的薄膜沉积。
(记者 曾健辉)
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