南大光电：公司ArF光刻胶所需的关键配套材料均为自主研发生产，主要检测设备如光刻机也已正常投入使用

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：您好，ARF光刻胶是中高级芯片制程用量最大的光刻胶，目前国内只有i线g线光刻胶实现了量产，KRF实现很少量生产，而ARF光刻胶基本需要进口。目前国内南大光电实现了ARF光刻胶产线建设和送检适配，并获得少量订单，是最可能最早量产的企业。但公司实现量产似乎仍要假以时日，据说光刻胶量产需要高质量的树脂、高精度的检验设备和DUV光刻机，请问公司当前量产主要困难在哪个环节？

南大光电（300346.SZ）11月11日在投资者互动平台表示，公司ArF光刻胶所需的关键配套材料均为自主研发生产，主要检测设备如光刻机也已正常投入使用。 目前ArF光刻胶仍在验证中，需要根据验证进度和客户订单情况确定规模量产时间。

(记者 陈鹏程)

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