每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：老师，请问验证14-28nm的光刻胶缺陷检测仪器美国已不能购买，国内最早能替代的机器什么时侯能开发出？
南大光电（300346.SZ）11月11日在投资者互动平台表示，公司ArF光刻胶正在多家下游客户处进行验证，具体进展请见相关信息披露。
(记者 陈鹏程)
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