每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问公司三季度的半导体设备产能如何？晶圆再生业务是否产生了收入?
至纯科技（603690.SH）10月10日在投资者互动平台表示，公司三季度半导体设备的产能正在按今年的扩产计划逐步提高中，预计年底产能可达150台。晶圆再生业务今年度将产生部分收入。
(记者 毕陆名)
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