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英唐智控:5台光刻机目前还在控股子公司日本英唐微技术的生产线中,最小能支持0.35um工艺

每日经济新闻 2022-09-27 17:02

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:公司的五台光刻机有没有计划搬回国内放到新建的产业园内啊?或者搬回两三台。那5台光刻机是多少纳米的呢?

英唐智控(300131.SZ)9月27日在投资者互动平台表示,5台光刻机目前还在控股子公司日本英唐微技术的生产线中,最小能支持0.35um工艺。

(记者 毕陆名)

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