精测电子：上海精测的主要产品有膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统等

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问一下上海精测半导体所生产的检测机产品属于纳米级电子束缺陷检测装备（EBI）和关键尺寸量测装备（CD-SEM）大类吗？在国际上的产品竞争力如何？

精测电子（300567.SZ）9月21日在投资者互动平台表示，现阶段，上海精测的主要产品有膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统、明场晶圆有图形缺陷检测设备、大硅片应力形貌量测设备等，其中电子束产品主要属于电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）。

(记者 毕陆名)

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