每日经济新闻

    南大光电:目前公司ArF光刻胶验证重点是90nm~28nm制程的工艺节点

    每日经济新闻 2022-09-16 15:40

    每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:请问老师,如果贵司能购买到缺陷检测分析仪器,目前贵司的Arf光刻胶能不能提升一个等级,用于14nm或者7nm芯片的制造?

    南大光电(300346.SZ)9月16日在投资者互动平台表示,目前公司ArF光刻胶验证重点是90nm~28nm制程的工艺节点。

    (记者 曾健辉)

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