新三板创新层公司硅烷科技新增专利授权：“一种可促进区熔级多晶硅均匀致密沉积的硅烷热分解炉”

每经讯，据启信宝，新三板创新层公司硅烷科技（838402）新增专利信息，专利权人为硅烷科技，发明人是梁正、孟国均、李建设、吕永峰、郭蕊、钱光凝、仪得志、陈源茂、刘纪江、丁远清。专利授权日为2022年7月1日，专利名称为“一种可促进区熔级多晶硅均匀致密沉积的硅烷热分解炉”，专利类型为中国实用新型专利，专利申请号为CN202220547708.9。

该专利摘要显示：本实用新型公开了一种可促进区熔级多晶硅均匀致密沉积的硅烷热分解炉，包括钟罩和底座；钟罩为带有冷却介质夹套的双层结构，其下部为圆筒型、上部为椭圆形型；底座为带冷却介质夹套的双层圆盘形结构；钟罩扣在底座上，形成甲硅烷热分解炉的内腔体，且在内腔体中设置有硅棒、甲硅烷供给机构和热分解冷却机构，所述硅棒与石墨电极连接，其中热分解冷却机构设置在硅棒外侧，甲硅烷供给机构设置在硅棒与热分解冷却机构之间；本分解炉通过甲硅烷供给机构和热分解冷却机构的设置，能够实现对硅棒的均匀吹气和温度控制，达到相变沉积过程中硅烷均匀供气与多相界面处反应物均匀分布，进而提高硅棒的生长质量，使生长层致密均一，具有结构简单、控制效果好的特点。

(记者 周宇翔)

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