南大光电：公司电子特气板块主要包括氢类电子特气和含氟电子特气产品

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：你好董秘,请问贵司特气主要应用于哪些领域？是否会应用于汽车？

南大光电（300346.SZ）6月17日在投资者互动平台表示，公司电子特气板块主要包括氢类电子特气和含氟电子特气产品。 氢类电子特气主要包括磷烷、砷烷等，是半导体、LED、光伏、航天和国防事业的关键原材料。含氟电子特气含氟电子特气主要包括三氟化氮、六氟化硫等，其中三氟化氮是应用于微电子工业（如集成电路、平板显示、太阳能薄膜等）的一种优良等离子蚀刻和清洗材料；六氟化硫广泛应用于输配电及控制设备行业，高纯六氟化硫可用于半导体材料的干法刻蚀清洗。

(记者 陈鹏程)

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