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    南大光电:目前主要的检测设备如光刻机,能够满足对28nm—90nm工艺节点的光刻胶进行检测

    每日经济新闻 2022-05-13 13:28

    每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:28nm—90nm是否需要14nm进口设备进行检测呢?能否直接销售?

    南大光电(300346.SZ)5月13日在投资者互动平台表示,公司目前主要的检测设备如光刻机,能够满足对28nm—90nm工艺节点的光刻胶进行检测。

    (记者 蔡鼎)

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