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公司的前驱体产品包括那些类型?以及对应制程分别是多少?南大光电回应

每日经济新闻 2022-04-01 16:03

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:公司的前驱体产品包括那些类型?以及对应制程分别是多少?

南大光电(300346.SZ)4月1日在投资者互动平台表示,公司前驱体材料主要用于先进制程的制造工艺,产品已覆盖晶圆制造所需的硅前驱体/金属前驱体、高K前驱体/低K前驱体的主要品类,并成功导入国内领先的逻辑芯片和存储芯片量产制程。

(记者 毕陆名)

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