每日经济新闻

    凯美特气:公司电子特气项目生产半导体等领域急需的高品质超高纯电子特种气体和多元混配气

    每日经济新闻 2022-03-03 16:19

    每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:公司子公司生产的氖气可以用在光刻机上吗?公司的特气是否超纯度?

    凯美特气(002549.SZ)3月3日在投资者互动平台表示,公司电子特气项目采用深冷精馏、物理化学吸附等先进技术设备,生产半导体等领域急需的高品质超高纯电子特种气体和多元混配气。

    (记者 姚祥云)

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