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中微公司:公司有ALE原子层刻蚀设备的研发计划,属于公司2020年再融资募投研发项目之一

每日经济新闻 2022-03-01 15:51

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:您好,ALE 原子层刻蚀中微有研发或者研发计划吗

中微公司(688012.SH)3月1日在投资者互动平台表示,公司有ALE原子层刻蚀设备的研发计划,属于公司2020年再融资募投研发项目之一。

(记者 蔡鼎)

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