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中微公司：公司有ALE原子层刻蚀设备的研发计划，属于公司2020年再融资募投研发项目之一

每日经济新闻 2022-03-01 15:51

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：您好，ALE 原子层刻蚀中微有研发或者研发计划吗

中微公司（688012.SH）3月1日在投资者互动平台表示，公司有ALE原子层刻蚀设备的研发计划，属于公司2020年再融资募投研发项目之一。

(记者 蔡鼎)

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