南大光电：ArF光刻胶验目前尚未规模量产

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：氖气，氪气，氙气贵公司有生产吗？产量各是多少？光刻胶验证进展到底怎样了？有几家公司采用？已经有供货吗？

南大光电（300346.SZ）2月25日在投资者互动平台表示，公司电子特气产品主要是含氟气体（三氟化氮、六氟化硫等）和氢类气体（磷烷、砷烷等），没有氖气，氪气，氙气的生产。 ArF光刻胶验进展请关注公司相关公告，目前尚未规模量产。

(记者 蔡鼎)

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