每日经济新闻

    南大光电:ArF光刻胶验目前尚未规模量产

    每日经济新闻 2022-02-25 16:15

    每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:氖气,氪气,氙气贵公司有生产吗?产量各是多少?光刻胶验证进展到底怎样了?有几家公司采用?已经有供货吗?

    南大光电(300346.SZ)2月25日在投资者互动平台表示,公司电子特气产品主要是含氟气体(三氟化氮、六氟化硫等)和氢类气体(磷烷、砷烷等),没有氖气,氪气,氙气的生产。 ArF光刻胶验进展请关注公司相关公告,目前尚未规模量产。

    (记者 蔡鼎)

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