华懋科技：徐州博康具备干法ArF光刻胶及湿法ArF光刻胶的技术能力

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：徐州博康的Arf产品进展情况如何？可以介绍一下旗下的相关产品不？

华懋科技（603306.SH）2月24日在投资者互动平台表示，徐州博康具备干法ArF光刻胶及湿法ArF光刻胶的技术能力，产品种类涵盖了L/S及C/H两类光刻胶。干法ArF产品HTA13X及HTA12X系列可应用至90nm/65nm/55nm工艺节点，湿法ArF产品HTA11X系列可应用至40nm/28nm工艺节点。

(记者 尹华禄)

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