国林科技：已掌握半导体行业用臭氧清洗设备制造及设计工艺多项关键技术

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：2021年12月2日，华为哈勃投资了苏州晶拓半导体科技。晶拓半导体成立于2020年，是专业的臭氧系统提供商，主要生产半导体器件专用设备、光伏设备及元器件等。其研发的半导体级高纯度臭氧气体与臭氧水系统填补国内空白，成功替代进口品牌，为中国半导体设备国产化事业做出贡献。 请问董秘，公司的臭氧与晶拓半导体比较如何呢？

国林科技（300786.SZ）1月12日在投资者互动平台表示，公司现已掌握了半导体行业用臭氧清洗设备制造及设计工艺多项关键技术：高频逆变电源技术、超纯高效混合单元、非接触液位检测技术和在线臭氧水溶浓度检测技术，并已取得的“一种臭氧发生器用板式电极及其制备方法和应用”发明专利（详见公告：2021-103），可满足半导体行业的应用需求。

(记者 姚祥云)

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