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    炬光科技:近年来光场匀化器产品也应用于国内主要光刻机研发项目和样机中

    每日经济新闻 2022-01-10 11:26

    每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:公司光场匀化器产品的实际应用是什么,是否涉及光刻机领域?

    炬光科技(688167.SH)1月10日在投资者互动平台表示,公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器,供应给世界顶级光学企业A公司,最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备;近年来光场匀化器产品也应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。

    (记者 毕陆名)

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