每经讯,据启信宝,北交所上市公司连城数控(835368)新增专利信息,专利权人为连城数控,发明人是朱凯、周江辉、唐学千、金明来、金敬武、徐杰、王永哲。专利授权日为2021年12月21日,专利名称为“一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置”,专利类型为中国实用新型专利,专利申请号为CN202121663471.2。
该专利摘要显示:本实用新型提供一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置,包括两个滑板导轨、硅棒承载装置、两个夹爪系统和夹爪系统驱动机构;所述夹爪系统包括滑板、夹爪导轨、两个夹爪和夹爪驱动机构,用于驱动两个所述夹爪沿所述夹爪导轨的延伸方向相向或相离运动。滑板导轨和夹爪导轨的延伸方向垂直设置,两个所述夹爪相对的面具有呈V型的夹口。本实用新型可以实现将不同直径规格的圆柱形晶圆毛坯棒料保持同一中心固定夹紧。且可根据不同长度硅棒,调节夹紧点跨距,保证晶圆毛坯中轴线水平。
(记者 张弩)
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