每日经济新闻

    上海新阳:公司ArF光刻胶处于验证阶段,而EUV光刻胶刚起步

    每日经济新闻 2021-12-22 16:32

    每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:李昊表示,“我们光刻胶产品包括I线胶、KrF胶、ArF干法和ArF湿法胶,EUV光刻胶也已经在和国外团队做前端研发。 请问:ArF干法、ArF湿法胶、EUV光刻胶各种新产品进展如何?

    上海新阳(300236.SZ)12月22日在投资者互动平台表示,公司ArF光刻胶处于验证阶段,而EUV光刻胶刚起步,尚在开发中。

    (记者 张弩)

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