每日经济新闻

    机器人:公司半导体装备业务中真空机械手及集束型设备下游客户为半导体工艺设备厂商

    每日经济新闻 2021-12-09 16:35

    每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:据知情人士透露,贵公司已投资1000亿用于研发制造光刻机。请问目前贵公司光刻机研发进展如何?

    机器人(300024.SZ)12月9日在投资者互动平台表示,公司半导体装备业务中真空机械手及集束型设备下游客户为半导体工艺设备厂商,公司暂未从事研发上述项目。

    (记者 王晓波)

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