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芯碁微装:公司直写光刻设备已在半导体领域的IC、MEMS、生物芯片、分立功率器件制造实现应用并量产

每日经济新闻 2021-10-20 09:36

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:请问公司在半导体芯片设备上的投入产出三季度有增长见效益了吗?三季度业绩预报也没出是不是还在投入期何时会有明显成效!

芯碁微装(688630.SH)10月20日在投资者互动平台表示,公司直写光刻设备已在半导体领域的IC、MEMS、生物芯片、分立功率器件制造实现应用并量产,业绩情况具体参见公司后续公告。

(记者 蔡鼎)

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