每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:根据公司公告,芯刻微ArF浸没式光刻胶已经达到了中试试验的基本条件。请问何时进行中试试验?中试试验需要多长时间?可用于多少nm芯片制程?
上海新阳(300236.SZ)9月17日在投资者互动平台表示,尊敬的投资者:你好!ArF 浸没式光刻胶产品试验按计划进行当中,谢谢您的关注!
(记者 毕陆名)
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