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南大光电:ArF光刻胶为公司自主研发,目前签订了小批量订单,尚未开始规模量产

每日经济新闻 2021-09-17 15:19

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:董秘你好,光刻胶进展如何,有无量产了?与中科院共同开发光刻胶,技术有无进一步突破?

南大光电(300346.SZ)9月17日在投资者互动平台表示,感谢您的关注!ArF光刻胶为公司自主研发,目前签订了小批量订单,尚未开始规模量产。具体进展请关注公司相关公告。

(记者 毕陆名)

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