每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问公司在薄膜设备方面的进展如何？是投资相关公司还是自己研发生产？
中微公司（688012.SH）9月10日在投资者互动平台表示，您好，公司目前已经组建团队在开发LPCVD设备和EPI设备，研发进展按计划进行中，同时公司将在适当时机通过并购等外延式成长途径扩大产品和市场覆盖。感谢您的关注。
(记者 蔡鼎)
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