每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：尊敬的董秘：您好，我们每一名投资者都很关心公司的发展，特别想知道贵公司芯片光刻机的研发进度情况，预计什么时候可以量产，未来能产生多少业绩？谢谢！
芯碁微装（688630.SH）8月25日在投资者互动平台表示，您好，感谢您的关注。公司直写光刻设备已在半导体领域的IC、MEMS、生物芯片、分立功率器件制造实现应用并量产，业绩情况具体参见公司相关公告。
(记者 周宇翔)
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