每经AI快讯,赛微电子(300456.SZ)8月16日在投资者互动平台表示,公司瑞典与北京MEMS产线均拥有适合MEMS芯片制造的多台双面对焦光刻机,但不属于EUV光刻机。
(记者 蔡鼎)
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