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赛微电子：公司瑞典与北京MEMS产线均拥有适合MEMS芯片制造的多台双面对焦光刻机，但不属于EUV光刻机

每日经济新闻 2021-08-16 12:24

每经AI快讯，赛微电子（300456.SZ）8月16日在投资者互动平台表示，公司瑞典与北京MEMS产线均拥有适合MEMS芯片制造的多台双面对焦光刻机，但不属于EUV光刻机。

(记者 蔡鼎)

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