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晶瑞股份:公司购买的ASMLXT 1900 Gi型ArF浸入式光刻机目前处于设备调试阶段,同时Arf光刻胶的研发正在进行中

每日经济新闻 2021-08-02 09:45

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:公司Arf光刻胶的研制到哪一步了,成功了吗?

晶瑞股份(300655.SZ)8月1日在投资者互动平台表示,尊敬的投资者您好!公司购买的ASMLXT 1900 Gi型ArF浸入式光刻机目前处于设备调试阶段,同时Arf光刻胶的研发正在进行中。公司正在加大力度组织各方有利资源加速研发,力求尽早完成ArF光刻胶的配方定型及向下游产业批量供应。感谢您对公司的关注与支持!

(记者 蔡鼎)

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