南大光电：“先进光刻胶产品开发与产业化”项目通过验收

2021-07-29 17:50

每经AI快讯，南大光电：公司作为牵头单位，承担的国家科技重大专项(02专项)“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”之“先进光刻胶产品开发与产业化”项目，今日收到极大规模集成电路制造装备及成套工艺实践管理办公室下发的项目综合绩效评价结论书，项目通过了专家组验收。