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    英诺激光:目前公司产品在芯片制造领域的应用为晶圆加工缺陷检测、碳化硅退火等制造工序

    每日经济新闻 2021-07-26 09:55

    每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:半导体芯片制造部分关键工序中,稳定可靠的高功率绿光、紫外和深紫外激光器是有效加工手段之一,贵司是全球少数能够提供应用于LOW-K材料半导体晶圆分切的深紫外激光器的厂商之一。是不是意味着贵司的产品在半导体芯片制造中不可或缺。

    英诺激光(301021.SZ)7月26日在投资者互动平台表示,您好,感谢您对公司的关注!目前公司产品在芯片制造领域的应用为晶圆加工缺陷检测、碳化硅退火等制造工序。

    (记者 王晓波)

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