湖南大学展示纳米尺寸垂直晶体管原型器件

2021-05-07 19:18

每经AI快讯，从湖南大学获悉，刘渊教授团队使用范德华金属集成法，成功展示了超短沟道垂直场效应晶体管，其有效沟道长度最短可小于1纳米。垂直晶体管具有天然的短沟道特性，其研发有望作为一种全新的器件微缩方向。如能通过进一步研究将真正的沟道物理长度缩小至10纳米甚至5纳米以下，未来将可能不再依赖传统的高精度光刻技术和刻蚀技术。（新华社）