07月02日 ，注册生效！中微半导体设备（上海） 股份有限公司科创板挂牌只等“这一天”了，该项目的注册地为上海 ，所属行业为专用设备 制造业 ，由海通证券股份有限公司保荐，律师事务所为上海市方达 律师事务所 ，会计师事务所为普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）。
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| 审核状态 | 更新日期 | 受理日期 |
| 提交注册 | 2019-06-26 | 2019-03-29 |
| 上市委会议通过 | 2019-06-20 | 2019-03-29 |
| 已问询 | 2019-06-12 | 2019-03-29 |
| 已问询 | 2019-06-11 | 2019-03-29 |
| 已问询 | 2019-06-10 | 2019-03-29 |
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| 已问询 | 2019-05-05 | 2019-03-29 |
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