05月20日 ，前往科创板再下一城，中微半导体设备（上海） 股份有限公司已获上交所问询，该项目的注册地为上海 ，所属行业为专用设备制造业 ，由海通证券股份有限公司保荐，律师事务所为上海市方达 律师事务所 ，会计师事务所为普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）。
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| 审核状态 | 更新日期 | 受理日期 |
| 已问询 | 2019-05-05 | 2019-03-29 |
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