03月29日 ，进军科创板中微半导体设备（上海）股份有限公司申请已获上交所受理，该项目的注册地为上海 ，所属行业为专用设备制造业 ，由海通证券股份有限公司保荐，律师事务所为上海市方达 律师事务所 ，会计师事务所为普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）。
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